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JKZC-P60.Z500 压电纳米定位台
产品介绍:
P60.Z500压电纳米定位台,是一维Z向运动压电定位台,采用压电陶瓷放大机构的设计原理,具有体积小、无摩擦、响应速度快等特点,配置高精度传感器,可以实现纳米级分辨率、定位精度具有高的可靠性,压电平移台在精密定位领域中发挥着重要的作用。
产品特点:
1、Z向位移500μm 2、可选闭环传感器 3、承载2kg
4、静电容量28.8μF 5、真空版本可选
技术参数:
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型号
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JKZC-P60.Z500S
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JKZC-P60.Z500K
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单位
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运动方向
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Z
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Z
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驱动控制
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1 路驱动,1路传感
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1 路驱动
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标称行程范围(0 ~120 V)
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400
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400
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µm±10%
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Max.行程范围(0~150V)
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500
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500
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µm±10%
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传感器类型
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SGS
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-
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分辨率
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13.4
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0.5
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nm
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闭环线性度
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0.1
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-
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%F.S.
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闭环重复定位精度
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0.05
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-
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%F.S.
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空载谐振频率
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290
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290
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Hz±20%
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承载能力
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水平安装
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2
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2
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kg
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立式安装
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0.03
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0.03
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倒置安装
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0.07
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0.07
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静电容量
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28.8
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28.8
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μF±20%
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材质
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钢、铝
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钢、铝
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重量
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0.65
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0.65
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kg±20%
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真空度
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-
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mbar
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安装方向
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水平安装
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立式安装
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倒置安装
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释义
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将PZT平台水平放置安装,运动面位于PZT平台的上方,运动面与水平面平行。
PS:参数表中承载能力默认方向
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将PZT平台立式放置安装,运动面与重力方向平行
PS:存在多种立式安装方式,技术参数对应最低承载
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将PZT平台水平放置,但运动面位于定位台的下方
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示意图
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备注
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当安装方式选择为立式安装时,需注意出线口
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尺寸图
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