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JKZC-P66.X30S/K-C 高分辨率压电纳米定位台
JKZC-P66.X30S/K-C 高分辨率压电纳米定位台
产品特点：
1、一维 X 向运动 2、行程达 38μm 3、承载力达 1kg
4、可选闭环版本、真空版本
典型应用：
1、纳米级精密位置调整 2、扫描显微 3、微操作
4、纳米定位 / 测量 5、微加工
技术参数：
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型号
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JKZC-P66.X30S-C
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JKZC-P66.X30K-C
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单位
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运动自由度
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X
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X
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驱动控制
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1路驱动，1路传感
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1路驱动
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传感器类型
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SGS
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-
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行程范围
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0~120 V
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30
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30
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µm±10%
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0~150 V
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38
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38
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µm±10%
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分辨率
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1
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0.5
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nm
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闭环线性度
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0.1
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-
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%F.S.
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闭环重复定位精度
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0.1
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-
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%F.S.
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运动方向刚度
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10
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10
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N/µm
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空载谐振频率
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2000
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2000
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Hz±20%
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闭/开环空载阶跃时间
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5
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1.5
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ms±20%
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运动方向推/拉力
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200/10
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200/10
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N
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承载能力
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水平安装
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1
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1
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kg
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立式安装
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0.3
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0.3
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kg
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倒置安装
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1
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1
|
kg
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静电容量
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3.6
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3.6
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μF±10%
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材质
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铝
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铝
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重量
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193
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193
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g±5%
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安装方向
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水平安装
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立式安装
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倒置安装
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释义
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将PZT平台水平放置安装，运动面位于PZT平台的上方，运动面与水平面平行。
PS：参数表中承载能力默认方向
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将PZT平台立式放置安装，运动面与重力方向平行
PS：存在多种立式安装方式，技术参数对应最低承载
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将PZT平台水平放置，但运动面位于定位台的下方
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示意图
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备注
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当安装方式选择为立式安装时，需注意出线口
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尺寸图：
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